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Halocarbon-RC318

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Halocarbon RC318

Halocarbon-RC318, C4F8, (Octafluorcyclobutan) ist ein nicht endzündliches, farbloses, geruch- und geschmackloses Gas, das bei seinem Dampfdruck von 25 psig (170 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Halocarbon-RC318 eingesetzt:

  • in Verbindung mit Kohlenstoffmonoxyd für die selektive Oxidverätzung.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Aluminium; Zink; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid; Kalrez.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 200,03
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 7,3
Geruch: geruchlos
CAS Register-Nr.: 115-25-3