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Carbon Monoxide

Kohlenstoffmonoxyd, CO, ist ein farbloses, endzündliches, toxisches Hochdruckgas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Kohlenstoffmonoxyd eingesetzt für:

  • die selektive Oxidverätzung in Verbindung mit C4F8.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Aluminium; Zink; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.
Elastomere: Kalrez; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 28,01
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 0,97
Geruch: geruchlos
CAS Register-Nr.: 630-08-0