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Korrodierende Gase

Korrodierende Gase, wie Bromwasserstoff, Chlorwasserstoff und Chlor werden beim Verätzungsprozess eingesetzt.
Man verwendet die Chlor- und Brommoleküle, weil sie flüchtige Verbindungen bilden, wenn sie Metallen ausgesetzt werden. Hohe Reinheitsgrade sind wichtig, um die Korrosion des Gassystems zu vermeiden und die höchste Leistungsfähigkeit des Prozesses zu erzielen.