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Methylsilan

Methylsilan, CH3SiH3, ist ein brennbares, farbloses, verflüssigtes, komprimiertes Gas, das bei einem Dampfdruck von 193 psig (1,330 kPA) und 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Methylsilan eingesetzt für:

  • die Siliciumcarbid-Epitaxie
  • um lichtempfindliche Beschichtungen zu erhalten, die trocken verarbeitet werden können.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl.
Kunststoffe: Kel-F.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 46,15
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 1,6
Geruch: leicht abstoßend
CAS Register-Nr.: 992-94-9