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Germane

German, GeH4, ist ein endzündliches, giftiges, farbloses Gas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird German eingesetzt für:

  • die Abscheidung von epitaxialen und amorphen Silicium-Germanium-Legierungen.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl.
Kunststoffe: Kel-F; Tefzel.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 76,66
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 2,7
Geruch: von unmerklich bis süßlich, von fischähnlich bis beißend
CAS Register-Nr.: 7782-65-2