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Phosphin

Phosphin, PH3, ist ein farbloses, giftiges, entzündliches, verflüssigtes Hochdruckgas, das bei seinem Damfdruck von 592,7 psig (4,090 kPa) und bei 68°F (20°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Phosphin eingesetzt:

  • als n-Typ-Dotierer für epitaxiales Silicium (bezeichnender Weise als ppm-Mischung mit Wasserstoff als Ausgleichsgas), um bestimmte Bereiche von Siliciumwafern mit Abscheidungs-/Diffusionstechniken zu dotieren, um Strukturen wie Impulsgeber, Quellenentwässerer und Kollektorenkontakte zu produzieren (bezeichnender Weise mit hohem ppm bei anteiligen Mischungen mit Stickstoff), Verbindungsstücke oder bestimmte Kondensatoren
  • um bor-phosphor-silicathaltiges Glas zu erhalten (bezeichnender Weise in anteiligen Mischungen mit Silan)
  • bei der Ionenimplantation (bezeichnender Weise mit 15% PH3 ausgleichenden Wasserstoffmischungen in kleinen Zylindern).

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF; Kalrez.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 34,00
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 1,18
Geruch: verwesender Fisch
CAS Register-Nr.: 7803-51-2