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Silane

Silan, SiH4, ist ein farbloses, spontan entzündliches Hochdruckgas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Silan eingesetzt für:

  • den polykristallinen Niederschlag in Verbindungen oder Abdeckungen
  • das Wachstum epitaxialen Siliciums
  • die chemische Dampfabscheidung von Siliciumdioxid, Siliciumnitrid, Siliciumcarbid und hitzebeständigen Metallsiliciden
  • die Implantation von Siliciumquellen, amorphen Siliciumbausteinen wie die lichtempfindlichen Trommeln oder Solarzellen
  • die dünne Niederschlagsschicht auf flachem Glas.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl C-Stahl; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 32,12
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 1,11
Geruch: erstickend
CAS Register-Nr.: 7803-62-5