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Schwefelhexafluorid

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Schwefelhexafluorid

Schwefelhexafluorid, SF6, ist ein farbloses, nicht entzündliches, verflüssigtes und komprimiertes Gas, das bei seinem Dampfdruck von 320 psig (2,200 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Schwefelhexafluorid eingesetzt als:

  • Fluorquelle für die Plasmaverätzung bei hoher Dichte; es bietet eine hohe Selektivität, ohne Kohlenstoff-Nebenprodukte zu produzieren.

Materialkompatibilität
Metalle: Messing; Edelstahl; C-Stahl; Aluminium; Kupfer; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.
Elastomere: Viton; Buna-N; Neopren; Polyurethan.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 146,05
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 5,1
Geruch: geruchlos
CAS Register-Nr.: 2551-62-4