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Stickstofftrifluorid

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Nitrogen Trifluoride

Stickstofftrifluorid, NF3, ist ein farbloses, toxisches, nicht entzündliches und korrodierendes Gas, das bei hohem Druck in Zylindern abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Stickstofftrifluorid eingesetzt für:

  • die Plasma- und Thermoreinigung von CVD-Reaktoren.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 71,019
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 2,46
Geruch: schimmelähnlich
CAS Register-Nr.: 7783-54-2