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Silicon Tetrachloride

Siliciumtetrachlorid, SiCl4, ist eine farblose, giftige, nicht endzündliche, korrodierende Flüssigkeit, die mit einem Dampfdruck von 3,75 psia (26 kPa) und bei 70°F (21°C) abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Siliciumtetrachlorid eingesetzt für:

  • Anwendungen von epitaxialem Silicium
  • die Plasmaverätzung von Metallen.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; PVDF.
Elastomere: Viton.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht : 169,90
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 5,8
Geruch: beißend, erstickend
CAS Register-Nr.: 10026-04-7