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Silicon Tetrafluoride

Siliciumtetrafluorid, SiF4, ist ein farbloses, vergiftendes und saures Gas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Siliciumtetrafluorid eingesetzt für:

  • die Ionenimplantation und in Verbindung mit Silan für die Plasmaabscheidung von fluorierte Kieselerde
  • manchmal als Silicium-Verätzraten-Vermittler bei der Plasmaverätzung.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl.
Kunststoffe: Kel-F.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 104,08
Spezifisches Gewicht (Luft=1): 3,7
Geruch: beißend
CAS Register-Nr.: 7783-61-1