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Trichlorosilane

Trichlorsilan, HSiCl3 ist eine farblose, korrodierende, entzündliche Flüssigkeit mit einem irritierenden, würgenden Geruch.

Anwendungen
Reines Trichlorsilan wird eingesetzt:

  • in chemischen Siliciumsäureesther Reaktionen
  • in der Halbleiterherstellung: bei der epitaxialen Siliciumabscheidung, besonders für dickere (>5 Mikron) Schichten, bei denen ein abruptes Transitionsprofil und eine enge Verfahrenskontrolle für die Beschichtung nicht kritisch ist.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl; Monelmetall.
Kunststoffe: Kel-F; PTFE.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht : 135,5
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 4,7
Geruch: irritierende, würgend
CAS Register-Nr.: 10025-78-2