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Trimethylboron

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Trimethylboron

Trimethylbor, B(CH3)3, ist ein luftentzündliches, farbloses, toxisches Gas.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Trimethylbor eingesetzt:

  • als Borquelle für die gleichzeitige Abscheidung von Bor und Kohlenstoff oder als Borquelle bei der BSPG-Abscheidung.

Materialkompatibilität
Metalle: Edelstahl; C-Stahl.
Kunststoffe: Kel-F.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 55,92
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 1,9
Geruch: abstoßend
CAS Register-Nr.: 593-90-8