Breadcrumbnavigation

Semiconductor - header

Halbleiter

Contact Us - S1

Kontakt

+43 6277 7447 0

 

siad_austria@siad.eu

Semiconductor - main

In der Halbleiterindustrie werden die Gase SIAD’s im gesamten Herstellungsprozess eingesetzt – angefangen beim Wachstum des einzelnen Siliciumkristalles bis zu jedem einzelnen Schritt in der Produktion der Halbleiterscheiben: Oxidation, chemische Abscheidung in der Dampfphase, Bespritzung, Verkleidung, Verätzung, Thermodiffusion und Ionisierung.

Anwendung von Gasen in der Herstellung von Halbleitern
Die Garantie der Lieferung von ausgesprochen reinen Gasen ist ein kritischer Faktor in der Herstellung technologisch fortschrittlicher Halbleiter. Schon die Produktion eines integrierten Kreislaufs verlangt allein über 30 verschiedene Gase für Verätzung, Abscheidung, Oxidation, Dotierung und Inertisierung. Die Bandbreite der verwendeten Gase ist hier größer als in jeder anderen Industrie. Außerdem müssen die Spuren von Unreinheiten in Millionsten-, Milliardenstel- und sogar Trillionstenteilchen gemessen und beseitigt werden.

Halbleitergase werden unterteilt in:

  • Silicium-Trägergase
  • Dotierende Gase
  • Ätzgase
  • Atmosphärische Gase
  • Reaktive Gase.

Stickstoff wird in vielen Prozessen angewendet, um eine reaktionsarme Umgebung zu schaffen oder um reaktive Gase nach dem Abschluss eines Prozesses abzuführen/zu reinigen.
Sauerstoff verwendet man für die Oxidation von Silicium, einem der kritischsten Prozesse in der Herstellung von Halbleitern überhaupt.
Argon wird eingesetzt, um eine reaktionsarme Umgebung beim Zerstäubungsprozess von Metall zu schaffen (wo selbst Stickstoff zu reaktiv wäre und zur Bildung von Metallnitriden führen würde).
Wasserstoff, in Blöcken als kyrogene Flüssigkeit zugeführt oder vor Ort hergestellt, wird verwendet, um eine reduzierende Umgebung für das Abglühen von metallischen Belägen zu schaffen.
SIAD’s komplette Linie von Halbleitergasen sorgt für Garantie und Beständigkeit, wo immer sich die Produktionsstätte von Halbleitern auch befinden mag.

Navigationsmenü