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Tungstenhexafluorid

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Tungstenhexafluorid

Tungstenhexafluorid, WF6, ist ein farbloses, toxisches, nicht endzündliches, korrodierendes Gas, das in Nickelzylindern abgefüllt wird.

Anwendungen
In der Halbleiterindustrie wird Tungstenhexafluorid eingesetzt für:

  • Niedrigdruck- oder plasmaverbesserter CVD von Tungsten und Tungstensiliciden.

Materialkompatibilität
Metalle: >Edelstahl; Nickel; Monelmetall.
Kunststoffe: Fluorpolymerharze wie PTFE, FEP und PFA; Tefzel; PVDF; Polyvinylchlorid.

Technische Eigenschaften
Molekulares Gewicht: 297,84
Spezifisches Gewicht (Luft = 1): 10,8
Geruch: geruchlos
CAS Register-Nr.: 7783-82-6