Félvezetők header

Félvezetők

Kapcsolat generico

Kapcsolat

+36 (46) 501 130

 

siad@siad.hu

Navigációs menü

Félvezetők

A SIAD félvezető gázait minden gyártási folyamatban - az egyes kristályszilikon-növesztésétől kezdve, az egyes lapok elkészítéséig (oxidálás, kémiai rétegelőállítás gőzfázisból, bevonás, védőrétegezés, maratás, termáldiffúzió, ionimplantáció) - felhasználják.

Gázberendezések a félvezetőgyártásban
A magas színvonalú félvezetőgyártásban a megbízható nagy tisztaságú gázellátás igen nagy jelentőséggel bír. Az integrált áramkörök gyártásához több mint 30 különböző vivőgáz szükséges (maratáshoz, oxidáláshoz, ülepítéshez, telítéshez, semlegesítő bevonatokhoz). Az iparágak között, majdhogynem itt a legszélesebb a felhasznált gázok skálája. Még a milliomodos, billiomodos, sőt a trilliomodos nyomszennyezéseknek is mérhetőnek, s eltávolíthatónak kell lenniük.

A félvezető vivőgázok besorolásai:

  • szilikon elővegyületek
  • adalékanyagok
  • maratóoldatok
  • atmoszferikus gázok
  • reagensek.

Ezek a munkaterületen, légszabályozással létrehozott, vagy kriogén folyadék halmazállapotú nitrogént és oxigént, kriogén folyadék halmazállapotú argont és sűrített gáz-halmazállapotú hidrogént tartalmaznak.
A semleges környezet létrehozására, illetve a reaktív gázok gyártás utáni tisztítására számos eljárásban használnak nitrogént.
Az oxigént, az egyik legkényesebb félvezető-gyártási folyamat végrehajtására, a szilikon oxidálására használják.
Az argon, a fémbevonatok deponálásához szükséges semleges környezetet biztosítja (azon esetekben, amikor még a nitrogén is túl reakcióképes, s használata fém-nitridek képződéséhez vezet).
A nagy mennyiségű kriogén halmazállapotú hidrogént, és a munkaterületen előállított hidrogént, a fémrétegek lágyítására szolgáló redukciós környezet létrehozásához használják.
A SIAD félvezető vivőgázainak sokfélesége, a lemezgyártás helyétől függetlenül biztosítja a megbízható és folyamatos termelési tevékenységet.

Navigációs menü