Félvezető gázok header

Félvezető gázok

Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Navigációs menü

Félvezető gázok

A SIAD félvezető gázait a gyártás minden fázisában megtaláljuk: a szilikon kristályok növesztésétől, az oxidáción, a katódporlasztásos kezelésen, a kémiai anyagleválasztáson (CVD), a maratáson, edzésen át a hődiffúzióig és ion implantációig.

Gázok a félvezetőgyártásban

A fejlett félvezetőgyártás elengedhetetlen kellékei a megbízható, magas tisztaságú gázok. Az integrált áramkörök gyártásánál több mint 30 különféle gázt használnak a maratáshoz, leválasztáshoz, oxidáláshoz és inertizáláshoz. Minden más iparágnál több gázfélét használnak. Akár milliomod (ppm), billiomod (ppb) vagy trilliomod (ppt) szintű szennyezettséget is ki kell tudni mutatni és meg kell tudni szüntetni.

A félvezető gázokat a következő csoportokra bontjuk:

  • szilikon rétegnövesztők
  • elektrongázok
  • marató gázok
  • atmoszférikus gázok
  • reagens gázok.

Ide tartozik a nitrogén és az oxigén is, melyet vagy az adott helyszínen állítanak elő a levegő szeparációjával, vagy pedig kriogenikus folyadék formájában szállítanak. Ide soroljuk a hidrogént is, melyet sűrített gáz formájában szállítunk. 
A nitrogént vagy az inert környezet kialakítására használják vagy pedig egy adott folyamat lezárulása után a reaktív gázok eltakarítására.
Az oxigént a szilikon oxidálására használják, mely az egyik legkritikusabb eljárás a félvezető gyártásban. 
Ahol a nitrogén alkalmazása fém nitridek kialakulásához vezetne ott argon használnak az inert környezet megteremtésére.
A hidrogént vagy a helyszínen állítják elő, vagy pedig kriogenikus folyadék formájában kötegekben szállítják. A fémek hőlágyításakor szükséges környezet kialakítására használják.
A SIAD félvezető gyártásban használt gázok teljes választékával áll megrendelői rendelkezésére, megbízható és konzisztens szolgáltatást nyújtva, bárhol is legyen a megrendelő üzeme.