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Acido cloridrico

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Acido cloridrico

L’acido cloridrico, HCl, è un gas incolore, tossico e corrosivo, che viene trasportato alla sua tensione di vapore pari a 4200 kPa, ad una temperatura di 21°C.

Applicazioni
Nell’industria dei semiconduttori, l’acido cloridrico è impiegato per:

  • l’etching dell’ossido nativo, che precede la deposizione epitassiale
  • il cleaning dei reattori di deposizione chimica da fase vapore e quale sequestrante di umidità sugli ossidi ottenuti per CVD.

Compatibilità con i Materiali
Metalli: Acciaio Inossidabile; Acciaio al Carbonio; Monel.
Materiali plastici: Kel-F; PTFE; Resine Fluoropolimeriche FEP e PFA; PVDF; Polivinilcloruro; Kalrez.
Elastomeri: Viton; Poliuretano.

Caratteristiche tecniche
Peso Molecolare: 36.46
Peso Specifico (Aria = 1): 1.3
Odore: Irritante
N° Immatricolazione CAS: 7647-01-0