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R 32

L’R 32 (difluorometano), CH2F2, è un gas incolore, inodore ed infiammabile, che viene trasportato alla sua pressione di vapore pari a 1600 kPa, ad una temperatura di 21°C.

Applicazioni
Nell’industria dei semiconduttori, l’R 23 è impiegato:

  • per il plasma etching di film costituiti da composti di silicio.

Compatibilità con i Materiali
Metalli: Ottone, Acciaio Inossidabile, Acciaio al Carbonio, Rame, Monel.
Materiali plastici: Kel-F; PTFE; Resine Fluoropolimeriche FEP e PFA; Tefzel; PVDF.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neoprene; Poliuretano.

Caratteristiche tecniche
Peso Molecolare: 52.02
Peso Specifico (Aria = 1): 1.85
Odore: simile all’etere, poco avvertibile a basse concentrazioni
N° Immatricolazione CAS: 75-10-5