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Triclorosilano

l triclorosilano, HSiCl3, è un liquido incolore, tossico, infiammabile e corrosivo, caratterizzato da una tensione di vapore di 6.7 kPa a 21°C. Il gas è trasportato pressurizzato con azoto a 138 kPa.

Applicazioni
Nell’industria dei semiconduttori, il triclorosilano è impiegato:

  • per la deposizione epitassiale di silicio, specialmente per gli strati più spessi (> 5 µm) e se non è cruciale ottenere transizioni di profilo nette ed avere uno stretto controllo sullo spessore del film.

Compatibilità con i Materiali
Metalli: Ottone, Acciaio Inossidabile, Acciaio al Carbonio, Monel.
Materiali plastici: Kel-F, Resine Fluoropolimeriche FEP e PFA; PVDF.
Elastomeri: Viton.

Caratteristiche tecniche
Peso Molecolare: 135.5
Peso Specifico (Aria = 1): 4.7
Odore: Pungente, soffocante
N° Immatricolazione CAS: 10025-78-2