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Trifluoruro di azoto

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Trifluoruro di azoto

Il trifluoruro di azoto, NF3, è un gas compresso incolore, tossico, corrosivo e non infiammabile.

Applicazioni
Nell’industria dei semiconduttori, il trifluoruro di azoto è impiegato:

  • per il plasma cleaning ed il cleaning termico dei reattori di deposizione chimica da fase vapore.

Compatibilità con i Materiali
Metalli: Acciaio Inossidabile; Monel.
Materiali plastici: Kel-F; PTFE; Resine Fluoropolimeriche FEP e PFA; PVDF.

Caratteristiche tecniche
Peso Molecolare: 71.019
Peso Specifico (Aria = 1): 2.46
Odore: Simile alla muffa
N° Immatricolazione CAS: 7783-54-2