Dopant gases header

Gazy domieszkowe

Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Dopant gases

Gazy domieszkowe są źródłem kontrolowanych zanieczyszczeń, używanych do modyfikowania lokalnych właściwości elektrycznych materiału półprzewodnikowego.
W szczególności, gazy tego rodzaju albo odejmują elektron (gazy domieszkowe p), albo dodają elektron (gazy domieszkowe n) do lokalnej struktury sieci krystalicznej cząsteczki, co z kolei zmienia konduktywność materiału. Gazy domieszkowe są dostępne w stanie ciekłym, stałym i gazowym. Popularne gazy domieszkowe n to arseniak i fosfan. Popularny gaz domieszkowy p w stanie gazowym to diboran. Gazy domieszkowe są stosowane w osadzaniu epitaksjalnym, dyfuzji i implantacji jonów.
Obszar, w którym znacząco wzrasta użycie arseniaku i fosfanu, to produkcja płytek znanych pod nazwą „urządzenia III-V” metodą epitaksji z fazy gazowej (ang. vapour phase epitaxy, skrót VPE) lub – częściej – metodą osadzania z par lotnych związków metaloorganicznych (ang. metal organic chemical vapour deposition, skrót MOCVD).
Firma SIAD oferuje pełen asortyment gazów domieszkowych.