Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Diclorosilan

Diclorosilan, SiH2Cl2, este un lichid incolor, toxic, inflamabil, coroziv, livrat la o presiune a vaporilor săi de 9.1 psig (63 kPa) la 70°F (21°C).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, diclorosilanul este utilizat pentru:

  • creşterea siliciului epitaxilă şi policristalin
  • depunerea chimică a vaporilor de dioxid de siliciu şi azotat, şi a silicaţilor de tungsten.

Diclorosilanul la purităţi foarte ridicate, poate să fie deosebit de util pentru depuneri de foarte înaltă puritate cum ar fi epi pentru CMOS, care necesită cantităţi deosebit de reduse de impurităţi metalice şi de carbon.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alama; Otel inoxidabil; Otel carbon; Cupru; Monel.
Materiale plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; Kalrez; PVDF.
Elastomeri: Viton.

Proprietăţi tehnice
Greutate moleculară: 101.01
Greutate specifică (Aerul=1): 3.52
Miros: Înţepător, Sufocant
Număr de înregistrare CAS.: 4109-96-0