Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Fosfină

Fosfină, PH3, este un gaz lichefiat de înaltă presiune, incolor, otrăvitor, inflamabil, livrat la o presiune a vaporilor săi de 592.7 psig (4,090 kPa) la 68°F (20°C).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, fosfina este utilizată pentru:

  • ca dopant tip n pentru siliciul epitaxial (de obicei amestecuri ppm cu gaz de echilibru hidrogenul), pentru doparea unor regiuni selecţionate ale tabletelor de siliciu utilizând tehnici de depunere / difuzie, cu scopul de a forma structuri cum ar fi emiţători, surse, şi contacte colectoare (de obicei ppm concentrate cu amestecuri procentuale cu azot)
  • pentru doparea siliciului policristalin pentru interconexiuni sau pentru anumiţi condensatori
  • pentru formarea sticlelor boro-fosfo-silicate (de obicei amestecuri procentuale cu silan) şi
  • pentru implantarea ionilor (de obicei 15% PH3 amestecuri echilibrate cu hidrogen în butelii mici).

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; PVDF; Kalrez.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren; Poliuretan.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 34.00
Greutate specifică (Aerul = 1): 1.18
Miros: Peşte în descompunere
Nr. de înregistrare CAS: 7803-51-2