Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Atmospherics gases

Gazele atmosferice / de purjare sunt utilizate pentru purjarea anumitor sisteme de procesare şi echipamente, atunci când producătorul de semiconductori este preocupat de posibila contaminare a facilităţii conţinând liniile de purjare.

SIAD furnizează o gamă completă de gaze atmosferice.

Azot, hidrogen, oxigen, argon şi heliu sunt livrate către fabricanţii de semiconductori în butelii precum şi în cantităţi mai mari, vrac. Anumite procese, cum ar fi sputtering, necesită doar volume foarte mici de gaz, făcând, de exemplu, ca utilizarea buteliilor singulare de argon să devină mai economică. Tehnologia Sputtering necesită derularea proceselor în condiţii vacuumatice şi accelerarea ionilor de argon în câmp electric.
Prin bombardamentul fizic, ionii de argon lovesc ciorchinii de atomi sau molecule de pe suprafaţa unei ţinte solide. Materialul evacuat este depozitat pe pastilă şi pe pereţii camerei de sablare.

Alte utilizări ale gazelor atmosferice includ:

  • heliul pentru răcirea părţii din spate
  • hidrogenul pentru calirea metalelor
  • oxigenul pentru gravarea polimerilor
  • fluorocarburile, pentru gravarea dioxidului de siliciu şi a nitraţilor de siliciu.

Navigation Menu