Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Etchant gases

Multe gaze sunt utilizate în procese de gravare / imprimare. Gazele de gravare includ fluorocarburi şi materialele fluorurate.
Cele mai importante gaze din acest moment sunt halocarbon 14, halocarbon 23, halocarbon 116, şi triflorura azotică. Aceste gaze de gravare reacţionează cu siliciul, cu dioxidul de siliciu şi cu azotaţii de siliciu.
Halocarbonurile sunt utilizate în mod obişnuit pentru gravarea compuşilor de siliciu, în cazurile în care alţi compuşi de clor sau de fluor sunt necesari în mod obişnuit pentru gravarea interconexiunilor metalice.
Alegerea gazului potrivit depinde foarte mult de capacitatea unui amestec de gaze dat de a grava selectiv un film în prezenţa unui alt film, cu o adâncime suficientă a profilului de control.