Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Halocarbon 116

Halocarbon 116, C2F6, (hexafluoroetan) este un gaz incolor, neinflamabil, livrat ca gaz lichefiat la presiunea vaporilor săi de 430 psig (2,965 kPa) la 70°F (21°C).

Aplicaţii
Un element de gravare deosebit de versatil pentru multe substraturi, halocarbonul 116 poate fi utilizat pentru gravare selectivă polisilicoasă faţă de SiO2.
Silicaţii şi oxizii metalici sunt gravaţi succesiv în substraturile metalice ale acestora, iar strippingul fotorezistent se realizează prin adăugarea de O2.
Cu rata sa scăzută F la C, C2F6 acesta este de asemenea utilizat pentru gravarea selectivă a SiO2 peste siliciu.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Aluminium; Zinc; Cupru; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren; Poliuretan.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 138.01
Greutate specifică (Aerul=1): 4.8
Miros: Uşor eteric
Nr. de înregistrare CAS: 76-16-4