Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Halocarbon 14

Halocarbon 14, CF4, (tetrafluorometan) este un gaz de înaltă presiune, incolor, neinflamabil.

Aplicaţii
Împreună cu oxigen adăugat, CF4 (de obicei concentraţia amestecului >80%) este utilizat pentru gravarea cu plasmă a polisilicaţilor, a dioxidului de siliciu, a azotaţilor de siliciu, a metalelor refractare şi a silicaţilor metalici. Alte utilizări importante ale CF sunt gravarea şi stripping-ul materialelor fotorezistente şi a altor polimeri4 (de obicei <20%) şi amestecuri cu oxigen.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Aluminium; Cupru; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren; Poliuretan.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 88
Greutate specifică (Aerul=1): 3.04
Miros: Fără miros
Nr. de înregistrare CAS: 75-73-0