Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Halocarbon 23

Halocarbon 23, CHF3, (trifluorometan) este un gaz lichefiat, de înaltă presiune, incolor, neinflamabil, livrat la presiunea vaporilor săi de 635 psig (4,380 kPa) la 70°F (21°C).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, Halocarbon 23 este utilizat pentru

  • gravarea cu plasmă, în mod special pentru SiO2 şi Si3N4 acolo unde se poate obţine o bună selectivitate în substraturile de polisilicaţi. Prin adăugarea oxigenului, se poate controla formarea polimerilor; gazele suplimentare bogate în hidrogen îmbunătăţesc selectivitatea SiO2 -la-Si.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Cupru; Monel.
Mase plastice: PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; PVDF.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 70.01
Greutate specifică (Aerul=1): 2.43
Miros: Uşor eteric
Nr. de înregistrare CAS: 75-46-7