Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Hexafluorura de sulf

Hexafluorură de sulf, SF6, este un gaz lichefiat, comprimat, incolor, neinflamabil, livrat la o presiune a vaporilor săi de 320 psig (2,200 kPa) la 70°F (21°C).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, hexafluorura de sulf este utilizată pentru:

  • sursă de fluor pentru gravarea cu plasmă de înaltă densitate; furnizezază o selectivitate extrem de ridicată fără să genereze produse secundare ale Carbonului.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Aluminium; Cupru; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; PoliClorură de Vinil.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren; Poliuretan.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 146.05
Greutate specifică (Aerul=1): 5.1
Miros: Fără miros
Nr. de înregistrare CAS: 2551-62-4