Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Hexafluorura de Tungsten

Hexafluorură de tungsten, WF6, este un gaz incolor, toxic, neinflamabil, coroziv, livrat în butelii de nichel.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, hexafluorura de tungsten este utilizată pentru

  • CVD la presiune scăzută sau cu utilizarea plasmei, pentru tungsten şi silicaţi de tungsten.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Oţel inoxidabil; Nichel; Monel.
Mase plastice: PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; Policlorură de Vinil.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 297.84
Greutate specifică (Aerul = 1): 10.8
Miros: Fără miros
Nr. de înregistrare CAS: 7783-82-6