Semiconductori header

Semiconductori

Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Navigation Menu

Semiconductori

În industria semiconductorilor gazele SIAD sunt utilizate pe parcursul fiecărei etape a producţiei - de la creşterea monocristalului de siliciu şi în fiecare pas al procesului de fabricaţie, până la obţinerea plachetei procesate: oxidare, depunere de vapori chimici, sputtering, acoperire, decapare, difuzie termică şi implantare ionică.

Aplicaţiile gazelor în producţia de semiconductori
Un furnizor de încredere pentru gaze de înaltă puritate este esenţial pentru un producător de semiconductori. Producerea unui circuit integrat necesită peste 30 de gaze de proces diferite pentru aplicaţii de decapare, depunere, oxidare, îmbogăţire şi neutralizare. Gama de gaze utilizată în acest domeniu este virtual mai largă decât în orice altă industrie. Trebuie realizată urmărirea, măsurarea şi eliminarea impurităţilor până la nivelul de o parte la un milion, o parte la un miliard, şi chiar o parte la un trillion.

Gazele pentru prelucrarea semiconductorilor sunt clasificate astfel:

  • precursori de siliciu
  • dopante
  • decapante
  • atmosferice
  • reactive.

Dintre acestea, azotul şi oxigenul, produse de instalaţii on-site prin separarea aerului sau livrate ca lichide criogenice, argonul, livrat ca lichid criogenic şi hidrogenul, livrat ca gaz comprimat.
Azotul este utilizat pe scară largă în multe procese pentru a asigura un mediu inert sau pentru a elimina gazele de proces la final.
Oxigenul este utilizat pentru oxidarea siliciului, unul dintre cele mai critice procese în producerea semiconductorilor.
Argonul este utilizat pentru asigurarea unui mediu inert pentru depunerile catodice de metale (când azotul este prea reactiv şi conduce la formarea nitrurilor).
Hidrogenul, livrat ca lichid criogenic sau produs de instalaţii on-site, este utilizat pentru asigurarea unui mediu reducător pentru refacerea peliculelor metalice.
Linia completă SIAD de gaze pentru prelucrarea semiconductorilor asigură siguranţă şi constanţă, indiferent de locul în care este amplasată unitatea pentru producerea semiconductorilor.

Navigation Menu