Monoxid de carbon, CO, este un gaz de înaltă presiune, icolor, inflamabil, toxic.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, monoxidul de carbon este utilizat pentru

• gravură oxidantă selectivă în conjuncţie cu C₄F₈.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Aluminium; Zinc; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; PoliClorură de Vinil.
Elastomeri: Kalrez; Buna-N; Neopren; Poliuretan.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 28.01
Greutate specifică (Aerul = 1): 0.97
Miros: Fără miros
Nr. de înregistrare CAS: 630-08-0