Gaze pentru semiconductori header

Gaze pentru semiconductori

Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Navigation Menu

Gaze pentru semiconductori

Gazele de proces pentru semiconductori ale SIAD sunt utilizate în diferite etape ale proceselor de producţie - de la creşterea cristalului unic de siliciu până la fiecare etapă a procesului fabricaţie al fagurelui: oxidare, depunere de vapori chimici, sputtering, rezistenţă, etc, difuzie termică şi implantare ionică.

Aplicaţiile gazelor în producţia de semiconductori 

Un furnizor de încredere pentru gaze de înaltă puritate este esenţial pentru un producător de semiconductori. Producerea unui circuit integrat necesită peste 30 de gaze de proces diferite pentru aplicaţii de decapare, depunere, oxidare, îmbogăţire şi neutralizare. Gama de gaze utilizată în acest domeniu este virtual mai largă decât în orice altă industrie. Trebuie realizată urmărirea, măsurarea şi eliminarea impurităţilor până la nivelul de o parte la un milion, o parte la un miliard, şi chiar o parte la un trillion.

Gazele pentru prelucrarea semiconductorilor sunt clasificate astfel:

  • precursori de siliciu
  • dopante
  • decapante
  • atmosferice
  • reactante.

Acestea includ azotul şi oxigenul, produse pe loc prin separarea aerului sau livrate ca lichide criogenice, argonul, livrat ca lichid criogenic, şi hidrogenul, livrat ca gaz comprimat.
Azotul este utilizat pe scară largă în multe procese pentru a oferi un mediu inert sau pentru a elimina gazele reactive după încheierea unui proces.
Oxigenul este utilizat pentru oxidarea siliconului, unul dintre cele mai critice procese în producerea semiconductorilor.
Argonul este utilizat pentru oferirea unui mediu inert pentru depunerile catodice de metale (atunci când chiar şi azotul este prea reactiv şi conduce la formarea azotaţilor metalici).
Hidrogenul, livrat vrac ca lichid criogenic sau produs pe loc, este utilizat pentru oferirea unui mediu reducător refacerea peliculelor metalice.
Linia completă SIAD de gaze pentru prelucrarea semiconductorilor asigură siguranţă şi consistenţă indiferent de locul în care este amplasată unitatea pen5tru producerea semiconductorilor.