Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 21 310 36 58

 

siad@siad.ro

Silane

Silan, SiH4, este un gaz de înaltă presiune, incolor, inflamabil spontan.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, silanul este utilizat pentru:

  • depunere policristalină pentru interconexiuni şi mascare
  • creşterea siliciului epitaxial
  • depunerea chimică a vaporilor de dioxid de siliciu, nitraţi de siliciu, carburi de siliciu, şi a silicaţilor metalici refractari
  • implantarea surselor de siliciu, a dispozitivelor cu siliciu amorf cum ar fi cilindrii fotosensibili sau celule solare
  • depunerea straturilor subţiri pe sticlă plană.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alama; Otel inoxidabil; Otel carbon; Cupru; Monel.
Materiale plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; Policrorură de vinil (PVC).
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neopren.

Proprietăţi tehnice
Greutate moleculară: 32.12
Greutate specifică (Aerul=1): 1.11
Miros: Şocant
Număr de înregistrare CAS.: 7803-62-5