Tetraflorura de Germaniu, GeF₄, este un gaz incolor, otrăvitor, acid.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, tetraflorura de germaniu este utilizată pentru:

• implantarea ionilor.

Compatibilitatea cu materiale
Metals: Otel inoxidabil; Otel carbon.
Materiale plastice: Kel-F.

Proprietăţi tehnice
Greutate moleculară: 148.58
Greutate specifică (Aerul=1): 5.16
Miros: Înţepător, ca de usturoi
Număr de înregistrare CAS.: 7783-58-6