Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Silicon Tetrafluoride

Tetrafuorura de siliciu, SiF4, este un gaz incolor, otrăvitor, acid.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, tetrafuorura de siliciu este utilizată pentru:

  • implantarea ionilor şi, în combinaţie cu silanul, pentru depunerea cu plasmă a silicaţilor fluoruraţi
  • uneori ca moderator al dozării siliciului în gravura cu plasmă.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Otel inoxidabil; Otel carbon.
Materiale plastice: Kel-F.

Proprietăţi tehnice
Greutate moleculară: 104.08
Greutate specifică (Aerul=1): 3.7
Miros: Înţepător
Număr de înregistrare CAS.: 7783-61-1