Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Trichlorosilane

Triclorosilan, HSiCl3, este un lichid incolor, toxic, inmflamabil, coroziv, cu o presiune a vaporilor de 9.67 psia (6.7 kPa) la 70°F (21°C). Este livrat sub presiune de azot de 20 psig (138 kPa).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, triclorosilanul este utilizat pentru:

  • depunerea epitaxială a siliciului, în special pentru straturi subţiri (>5 microni) în care nu este esenţial pentru grosimea filmului depus, un profil de tranziţie abrupt şi un control strict al procesului.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alama; Otel inoxidabil; Otel carbon; Monel.
Materiale plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; PVDF.
Elastomeri: Viton.

Proprietăţi tehnice
Greutate moleculară: 135.5
Greutate specifică (Aerul=1): 4.7
Miros: Înţepător, sufocant
Număr de înregistrare CAS.: 10025-78-2