Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Triclorură de bor

Triclorură de bor, BCl3, este un lichid incolor, toxic, neinflamabil, coroziv, livrat la o presiune a vaporilor săi de 4.4 psig (30 kPa) la 70°F (21°C).

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, triclorura de bor este utilizată pentru:

  • difuzie tip p în siliciu
  • implantarea ionilor
  • gravarea cu plasmă a metalelor.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Cupru; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; PoliClorură de Vinil.
Elastomeri: Viton.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 117.17
Greutate specifică (Aerul=1): 4.0
Miros: Înţepător, Iritant
Nr. de înregistrare CAS: 10294-34-5