Contacteaza-ne generico

Contacteaza-ne

+40 210 310 36 58

 

siad@siad.ro

Nitrogen Trifluoride

Trifluorură de azot NF3, este un gaz incolor, toxic, neinflamabil, coroziv, livrat în butelii la presiune înaltă.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, trifluorura de azot este utilizată pentru

  • curăţarea cu plasmă şi termică a reactoarelor CVD.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Oţel inoxidabil; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; PVDF.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 71.019
Greutate specifică (Aerul=1): 2.46
Miros: mucegai
Nr. de înregistrare CAS: 7783-54-2