Trifluorură de bor-11 (îmbogăţită), ¹¹BF₃, este un gaz de înaltă presiune, incolor, toxic, neinflamabil, coroziv.

Aplicaţii
În industria semiconductorilor, Trifluorura de bor-11 este utilizată pentru

• difuzie tip p în siliciu
• implantarea ionilor.

Compatibilitatea cu materiale
Metale: Alamă; Oţel inoxidabil; Oţel carbon; Cupru; Monel.
Mase plastice: Kel-F; PTFE, FEP, şi PFA Răşini Fluoropolimerice; Tefzel; PVDF; PoliClorură de Vinil.
Elastomeri: Viton.

Caracteristici tehnice
Greutate moleculară: 68.00
Greutate specifică (Aerul = 1): 2.4
Miros: Înţepător, sufocant
Nr. de înregistrare CAS: 7637-07-2