Dopant gases header

Газы-диффузанты

Contattaci Gas Speciali

Contact Us

Do you want to know more?

E-mail us: siad@siad.eu

Dopant gases

Газы-диффузанты - источник управляемых примесей, которые изменяют местные электрические свойства полупроводникового материала. 
Диффузант создаёт дефицит электрона (акцептор) или привносит электрон (донор) в местную структуру кристаллической решетки молекулы, которая, в свою очередь, изменяет проводимость материала. Диффузанты бывают жидкие, твёрдые и газообразные. Обычные газообразные дифузанты-доноры - арсин и фосфин. Обычный газообразный диффузант-акцептор - диборан. Диффузанты используются при эпитаксиальном осаждении, диффузии и ионном легировании. 
Главная отрасль использования для арсина и фосфина - изготовление плат, назывемых "III-V устройства", где используется эпитаксия из паровой фазы (VPE) или, более часто, метод металлорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). 
SIAD поставляет полную линейку газов-диффузантов.