Навигационная цепочка

Полупроводники header

Полупроводники

Контакты generico

Контакты

+7.495.7213026

 

siad@siad.ru

Navigation Menu

Полупроводники

Технологические газы концерна SIAD для изготовления полупроводников используются на всех этапах производства, от выращивания отдельного кристалла кремния до всех стадий производства отдельной печатной платы: окисление, химическое осаждение пара, напыление, резист, травление, термодиффузия и ионное легирование.

Применение газа при производстве полупроводников 
Надёжные поставки газов с высокой степенью чистоты насущно необходимы при производстве передовых полупроводников. Для производства интегральной схемы требуется более 30 различных технологических газов для травления, осаждения, окисления, легирования и инертного применения. Ассортимент применяемых газов шире чем, практически, во всех остальных сферах. Требуется устранять следовые загрязнения в размерах одна часть на миллион, одна часть на миллиард, и даже одна часть на триллион.

Технологические газы для полупроводников подразделяются на:

  • предшественники кремния
  • диффузанты
  • травители
  • атмосферики
  • реагенты.

Сюда входят азот и кислород, производимые на месте путём разделения воздуха или поставляемые в виде криогенной жидкости, аргон, поставляемый в виде криогенной жидкости, и водород, поставляемый в виде сжатого газа.
Водород широко используется во многих процессах для получения инертной среды или для очистки химически активных газов после завершения процесса.
Кислород используется для окисления кремния, одного из наиболее критических процессов во всём производстве полупроводников.
Аргон используется для получения инертной среды для осаждения металлов методом распыления (где даже водород слишком реакционноспособен и приводит к образованию нитридов металла).
Водород, поставляемый наливом в виде криогенной жидкости или производимый на месте, используется для создания восстановительной среды для отжига металлической ленты.
Полная линейка технологических газов концерна SIAD для производства полупроводников обеспечивает надёжность и прочность, независимо от того, где расположено производство пластин.

Navigation Menu