Trichlorosilane header

Трихлорсилан

Контакты generico

Контакты

+7.495.7213026

 

siad@siad.ru

Trichlorosilane

Трихлорсилан, HSiCl3, бесцветная, токсичная, огнеопасная, коррозийная жидкость с давлением 9.67 psia (6.7 kPa) при 21°C. Поставляется при азотном давлении 20 psig (138 kPa).

Применение
В производстве полупроводников, трихлорсилан используется для:

  • эпитаксиального осаждения кремния, особенно для толстых (>5 микрон) слоёв, где есть резкая смена профиля и жёсткий контроль управления производственным процессом по толщине плёнки не является критичными.

Совместимость с материалами
Металлы: медь; нержавеющай сталь; углеродистая сталь; монель.
Пластмассы: Kel-F; политетрафторэтилен, FEP, и PFA фторосодержащие смолы; поливинилиденфторид.
Эластомеры: витон.

Технические свойства
Молекулярная масса: 135.5
Удельная масса (воздух = 1): 4.7
Запах: острый, удушливый
Регистрационный номер КАН: 10025-78-2