Polovodiče

Plyny SIAD pre výrobu polovodičov a integrovaných obvodov sa užívajú v celom procese výroby - od rastu monokryštálu kremíka cez jednotlivé fázy výroby až po konečnú kompletizáciu integrovaných obvodov a dosiek s plošnými spojmi: oxidácie, chemické naparovanie (CVD), pokovovanie, chránenie a maskovanie, leptanie , tepelná difúzia a iónová implantácia

Plynové aplikácie vo výrobe polovodičov 
Spoľahlivá dodávka plynu o vysokej čistote je zásadný pre modernú výrobu polovodičov. SIAD pre výrobu polovodičov a integrovaných obvodov ponúka viac ako 30 rôznych plynov a zmesí pre leptanie, nanánášení, oxidácii, legovanie a inertné aplikácie. Škála používaných plynov je širší ako v ktoromkoľvek inom priemyselnom odvetví. Je potrebné merať a odstrániť stopové nečistoty v koncentráciách ppm (Parts per million), v p.p.b. (Parts per billion) a dokonca aj v p.p.t. (Parts per trillion) musí byť indikované a eliminované.

Polovovodičové procesné plyny sa triedi ako:

• prekurzory kremíka
• legovacie látky (mazadlá na formy)
• leptacie činidlá
• plyny tvoriace atmosféru
• reakčné plyny.

Dusík a kyslík môžu byť vyrábané separačnými jednotkami zo vzduchu on-site, alebo dodávané ako kryogénne kvapaliny, argón aj ako kryogénne kvapalina a vodík je dodávaný ako stlačený plyn.

Dusík sa široko používa v rade procesov na zabezpečenie inertného prostredia alebo k vyplachovanie reaktívnych plynov po ukončení procesu.

Kyslík sa používa k oxidácii kremíka, čo je jedna z najkritickejších fáz výroby polovodičov.

Argón je používaný na zabezpečenie inertného prostredia pri naparovanie kovov (kde je dokonca aj dusík príliš reaktívna a vedie k tvorbe kovových nitridov).

Vodík, dodávaný vo veľkom ako kryogénne kvapalina alebo vyrábaný na mieste, je používaný k tvorbe redukčného prostredia pri žíhaní kovových vlákien alebo fóliou.

Kompletný rad polovodičových procesných plynov SIAD garantuje dostatočne dlhú použiteľnosť, spoľahlivosť a stabilitu vlastností bez ohľadu na to, kde sa výroba polovodičov a integrovaných obvodov nachádza.